仪器简介：

EVO MA 15/LS 15是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。MA 15电子显微镜用于材料领域，LS 15用于生命科学领域。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。革命性Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
一、蔡司电子显微镜EVO MA 15/LS 15用途：
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
二、扫描显微镜（蔡司）EVO MA 15/LS 15技术参数：
1、分辨率：2.0nm @ 30KV(SE with Lab6 option) 3.0nm @ 30KV(SE and W) 4.5nm @ 30KV(VP with BSD)
2、加速电压：0.2—30KV
3、放大倍数：5—1000000x
4、视野范围：6mm
5、X-射线参数：8.5mm WD，35度接收角
6、压力范围：10—400Pa (LS15:10-3000Pa)
7、工作室：365mm(φ)×275mm(h)
8、5轴优中心自动样品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm T=0-90°R=360°
9、最大试样高度：145mm，最大试样直径：250mm
10、系统控制：基于Windows XP 的SmartSEM
三、扫描显微镜（蔡司）EVO MA 15/LS 15主要特点：
1、能在可变压力下操作
2、先进X射线和EBSD分析
3、快速抽真空
4、未来的保证，可升级在高压和水蒸气下成像和分析
5、高亮度LaB6资源选择
6、光线套选择
7、可移动大平台
四、扫描显微镜（蔡司）EVO MA 15/LS 15技术优势：

1、通过网络可远程控制
2、在z轴上可机动化的移动50毫米并且在X和y轴上可移动125毫米
3、样本高度最大增加到145毫米
4、改进了低真空图像
5、业界领先的X-射线分析技术