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dbzz深圳天雄达科技发现洁净室内的污染源主要来自四个方面：1、大气中含尘、含菌、净化空调系统中新风带入的尘粒和微生物；2、作业人员发尘；3、建筑围护结构、设施的产尘，这里包括墙、顶棚、地面和一些裸露管线的产尘；4、设备及产品生产过程的产尘。
改变空气的质量需要借助高效过滤器送入洁净室的清洁空气，主要是靠送风系统的各个部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。
（1）
用传统的喷水室湿式处理空气法来处理新风中的化学物质。它的清洁有效性是可行的。
（2）采用有杀菌作用的HEPA过滤器(杀菌酵素过滤嚣)。高效空气过滤器
过去采用金属离子的毒性来杀菌，如银型阳高于交换纤维制成的空气过滤器，现今可采用从生物体中提取的天然酵素将细菌的细胞壁溶解以达到杀菌的目的，是一种安全的灭菌措施，它防止了过滤器上微生物增殖所产生的二次污染。这个提高了高效空气过滤器使用的寿命和工作效率。
（3）采用UV光电子空气净化方法。高效空气过器不同于普通的静电过滤器。该方法利用将紫外线照射在金属膜层上产生的光电效应，在空气中产生电子和负离子使流经的污染物质荷电并被集尘极捕集(图1所示)。目前在有限的小空间范围内已有应用。前景是可观的。
（4）采用除海盐粒子过滤器。沿海岸地区空气中含盐量较多，台风等强风作用下会更高。这种状况对微电子工厂极为不利。现在有两种措施：1)所采用的滤材即使在大量盐分附着后不容易析出；2)在空调箱进入段处先设喷水段及档水板，可先捕集90％的海盐粒子，再经普通的空气过滤器清除未被捕集的粒子。喷雾用水应直接排放出，不予回收。对于临海设置的微电子工厂在空调净化装置中应予考虑。可以考虑选择质量高的高效空气过滤器改变目前这种现状。
深圳市天雄达科技有限公司
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