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晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台
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dbzz一、 设备概况 A. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台设备名称:Si刻蚀清洗台 B. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台设备型号:KZIC-T-GETW-03B C. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台整机尺寸:约1800mm(L)×1200mm(W)×1800mm(H); D. 操作台面高度:850±20mm E. 被清洗工件规格:6英寸圆片,25片/篮(180mm*145mm*180mm); F. 产能:1篮,25片/批; G. 节拍 :099min 可调 ; H. 设备类型:半自动; 二、 设备构造 A. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台骨架:国产优质Q235A骨架外包3mm厚PP-W板保护; B. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台外壳:10mm厚德国劳士领PP-W板焊接而成; C. 磁力搅拌器:国产优质带加热磁力搅拌器,满足6-8寸烧杯使用; D. 冲洗槽:德国进口10mm PP-N板热熔焊接而成; E. 管路:管路位于机台下/后部,管道采用PPHP和PPN、PFA管路相互配合使用; F. 排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量自动调节装置--设备抽风口配置比例调节阀门,配合上下推拉门使用,门开口越大抽风发口打开越大,反之亦然; G. 工作照明:机台顶部配防腐防爆照明; H. 设备后板抽风口上方焊接一条载物台,用于盛放烧杯,手套等物品; I. DI/N2 GUN:设备配美国应特格PFA可伸缩的N2 Gun和DIW Gun各2把,置于工作设备做侧; J. 电器部分:采用开关按钮控制,电器元器件均采用Schneider&Omron; 联系电话:0512-52992666-8009/8010 传真:0512-52210111 邮箱:sales@kzonetech.com 联系人:张翠平 手机:18852441913
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